日本shinkuu真空簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng)
通過(guò)在外殼中內(nèi)置TMP來(lái)實(shí)現(xiàn)緊湊的外殼。由于它是臺(tái)式機(jī)類型,因此不會(huì)占用空間。RP被放置在地板上。
我們以低價(jià)提供帶有小TMP + RP排氣系統(tǒng)的清潔,高真空氣相沉積設(shè)備。一個(gè)簡(jiǎn)單的操作系統(tǒng),消除了復(fù)雜的排氣操作,僅打開(kāi)和關(guān)閉開(kāi)關(guān)。
可以使用鎢筐沉積金,鋁,鉻,銀等。對(duì)于碳?xì)庀喑练e,使用了一種鉗式氣相沉積槍型,它會(huì)隨著碳的蒸發(fā)而蒸發(fā)鋒利的鉛筆型替換芯。(不能使用Φ5mm碳棒。)
購(gòu)買(mǎi)時(shí),我們將選擇碳?xì)庀喑练e電極或金屬氣相沉積電極。可以選擇購(gòu)買(mǎi)其他電極。
碳蒸鍍電極
Φ0.5mm碳蒸鍍電極,僅用于碳。
它能夠在高真真空區(qū)中沉積碳,并且可以形成具有優(yōu)異膜質(zhì)量和膜強(qiáng)度的碳膜。
附帶的防污蓋可醉大程度地減少碳蒸氣沉積的擴(kuò)散范圍,并減少清潔負(fù)擔(dān)。
建議使用碳SLC-30作為碳?xì)庀喑练e源。
金屬氣相
沉積電極這是專門(mén)用于鎢筐的金屬氣相沉積電極。
可以輕松地沉積金,鋁,鉻等。隨附的防污罩可醉大程度地減少氣相沉積范圍,并減少清潔負(fù)擔(dān)。
主要產(chǎn)品規(guī)格
項(xiàng)目 | 規(guī)范 |
電源 | AC100V(單相100V15A) |
裝置尺寸 | 寬400毫米,深425毫米,高546毫米 (設(shè)備重量25千克) |
旋轉(zhuǎn)泵(外部) | 排氣速度50?/ min(G-50DA) (重量11kg) |
渦輪泵(內(nèi)置裝置) | 排氣速度67?/秒 |
樣品臺(tái) | 直徑72毫米 |
沉積源-樣品臺(tái)間距 | 可在0毫米至140毫米范圍內(nèi)調(diào)節(jié) |
關(guān)于選項(xiàng)
2018.11.01
選配
對(duì)于氣相沉積設(shè)備,我們?yōu)楦鞣N實(shí)驗(yàn)應(yīng)用提供大量選擇。此選項(xiàng)是一個(gè)正常的示例。我們也接受根據(jù)客戶所需規(guī)格的修改,因此請(qǐng)與我們聯(lián)系。VE-2012 ...
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