日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計GMi系列
日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計GMi系列
該產(chǎn)品是一種換能器型多離子規(guī)，可以連接具有不同測量范圍的測頭。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個外殼中的復(fù)雜真空計中，“由于一個探針的故障，必須*更換一個探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說“很貴"。
使用這種方法，可以進(jìn)行寬帶測量，大大降低了運行成本，并支持低環(huán)境負(fù)荷。
GMi系列的特點
廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5至5×10 -8 Pa）（當(dāng)同時使用GPM和GAM時）。可以連接不同測量范圍的探頭，使用
多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。準(zhǔn)確的大氣壓測量
輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時）支持低環(huán)境負(fù)荷由于
僅在必要時可以更換接觸點，因此可以降低運行成本。
配備能檢查異常的LED 的能見度得到改善
易于維護(hù)更換探頭每種模式（組合模式）的
規(guī)格GMi + GPM（離子計+皮拉尼表）
GMi + GPM + GAM（離子計+皮拉尼表+大氣壓傳感器）測量值輸出信號
壓力為0-10V輸出（對數(shù)輸出）控制輸出信號
設(shè)定值3點可輸出（GMi-1）可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2）符合
CE標(biāo)準(zhǔn)
用途
用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
確認(rèn)具有在線式和單晶圓式等多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力
高真空/超高真空設(shè)備壓力測量
日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計GMi系列
規(guī)范
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 規(guī)范 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通訊規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） | ||
| 可連接的 | 傳感器多離子壓力表傳感器：1個 皮拉尼壓力表GPM：1個（可選） 大氣壓傳感器GAM：1個（可選） | ||
| 采樣時間 | 70毫秒4倍移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0至10 V，對數(shù)輸出0.75 V / 1位 壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P-2）P = 10 ^ {（V-7.25）/ 0.75 + 2} *用于設(shè)定點調(diào)整也用作輸出電源（僅適用于GMi-1） | ||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON / OFF，F(xiàn)IL 1/2，DEGAS ON / OFF以 集電極開路輸入，負(fù)邏輯運行 * FIL ON / OFF信號的用法因模式而異。 | -- | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3 發(fā)射有效 燈絲功率監(jiān)控 額定值：24 VMAX，50 mAMAX， 飽和電壓1 V | -- | |
| 串行通訊規(guī)格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源和錯誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） FIL：發(fā)射有效的指示燈 | ||
| SET1：設(shè)定點1 LED SET2： 設(shè)定點2 LED SET3：設(shè)定點3 LED | -- | ||
| 發(fā)射電流 | 1 mA（1×10 -3 Pa以下），10 µA | ||
| 德加斯 | 電子沖擊解吸方法（電子轟擊）1 mA，330 V | ||
| 傳感器耐壓 | 2 x 10 5 Pa（壓力）*法蘭和夾具等的耐壓性必須分開考慮。 | ||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 34厘米3（M34） | ||
| 工作溫度極限 | 10?50℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，無凝結(jié)） | ||
| 貯存溫度 | -20至65°C（斷電時無結(jié)露） | ||
| IP防護(hù)等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | 20至28 VDC（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時為156 W） | ||
| I / O連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | ||
| 大眾 | 控制器：約530 g，BA探針（M34）：63 g | ||
| 外形尺寸W xD x H（mm） | 144 x 75 x 62以下（控制器部分） | ||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | CE認(rèn)證 | ||
| 選項 | 電源/錯誤：多離子計傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） 材質(zhì)：長絲1 lr / Y 2 O 3涂層，長絲2 W（鎢） 其他Pt C Mo，SUS，W | |
| 皮拉尼規(guī) | SPU | ||
| 皮拉尼儀表傳感器 | WP-16（NW16） 材質(zhì)：細(xì)絲鉑，其他BS / Ni，鍍層，Ni，焊料 | ||
| 大氣壓傳感器 | GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米 | ||
| 顯示單位 | 1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源） | ||
| 顯示電纜 | GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m | ||
每種模式的規(guī)格
GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：單個多離子壓力計模式，帶皮拉尼壓力計的組合模式以及帶皮拉尼壓力計和大氣壓傳感器的三重組合模式。
| 模式 | GMi-1 / GMi-2 獨立模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式 |
|---|---|---|---|
| 測量壓力范圍 | 5×10 -8?1 ×10 1帕 | 5×10 -8?1 ×10 4帕 | 5×10 -8?1 ×10 5帕 |
| 測量精度 | 5×10 -8?1 ×10 1 Pa±15％ | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3至1.0×10 4 Pa：不保證精度 | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa：無精度保證 1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa：±3％FS （3×10 3 Pa，參考溫度25°C） |
| 重復(fù)性 | 1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％ | ||
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