日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器GP-1
傳感器單元GP-1是皮拉尼壓力計,可測量3,000Pa至0.4Pa。
通過從常規(guī)控制器上拆下操作/顯示部分并將功能縮小到所需的低限度,該真空計可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。
換能器規(guī)格:壓力指示器是不必要的,如果
降低成本的隔距
節(jié)省空間和控制基板周圍
的減小的布線
實現(xiàn)這樣
可維護(hù)性:易于更換探頭
燈絲材料:采用的鉑(Pt)
具有高耐腐蝕性的鉑用于燈絲材料。
可以與WP系列接觸點一起使用:您一直使用的接觸點可以原樣使用
控制輸出信號:可輸出2個設(shè)定點
測量值輸出信號:壓力為0-5V輸出(非線性輸出)
電源電壓:可通過DC24V輸入進(jìn)行操作
用于各種制造設(shè)備(包括半導(dǎo)體和電子零件)的低真空區(qū)域中的過程控制
用于各種工業(yè)設(shè)備(例如熔爐)的低真空區(qū)域中的過程控制
用于在具有多個處理室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行處理控制,例如在線型和單板型
日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器GP-1
類型 | 傳感器單元 | |
---|---|---|
模型 | GP-1 | |
自適應(yīng)探頭 | WP-01,WP-02,WP-03,WP-16 | |
測量壓力范圍 | 4.0 x 10 -1?3.0 x 10 3帕 | |
測量精度 | ±15%(51 Pa至760 Pa) ±30%(10 Pa至1,000 Pa) ±50%(0.4 Pa至3,000 Pa) | |
工作溫度極限 | 10-40°攝氏度 | |
采樣時間 | 50毫秒5次移動平均處理 | |
測量值輸出 | 非線性輸出:DC 0-5 V(大10 V) | |
更新時間 | 50毫秒 | |
解析度 | 10毫伏 | |
設(shè)定值1/2調(diào)整輸出 | 非線性輸出:DC 0-5 V(大10 V) | |
控制輸出信號 | 集電極開路,負(fù)邏輯 錯誤信號 設(shè)定點1/2 | |
LED顯示屏 | 功率,誤差,設(shè)定值1/2 | |
電源電壓 | 直流24 V±2 V,90 mA | |
I / O連接器 | D-sub-15P(M2.6螺絲) | |
身體質(zhì)量 | 190克(不含探針) | |
配件 | I / O連接器1套 使用說明書1份 |
IO,模擬GND和電源GND沒有隔離。
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