非接觸式膜厚測量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)

特征

1. 測量樣品的反射率（干涉波形），并通過FFT（快速傅里葉變換）或其他方法分析薄膜厚度值。

2. 除了薄膜厚度測量外，還可以測量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測量、顏色測量和組分濃度分析。

3. 測量數(shù)據(jù)可以保存為文件，以后重新分析。

4. 由于還可以制造連續(xù)測量功能、橫移機(jī)構(gòu)和數(shù)據(jù)通信功能，因此也可以用作在線薄膜厚度測量。