日本napson薄膜電阻檢測(cè)儀EC-80P技術(shù)解析
相關(guān)(硅,多晶硅,碳化硅等)半導(dǎo)體/太陽(yáng)能電池材料
的新材料/相關(guān)功能性材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)的(金屬,ITO等)
硅基外延離子注入的樣品
化合物與半導(dǎo)體有關(guān)的(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)
其他(*請(qǐng)與我們聯(lián)系)
無論樣品大小和形狀如何均可進(jìn)行測(cè)量(但是,大于20mmφ且表面平坦)
[電阻率] 1 m至200Ω·cm
(*所有探頭類型的總范圍/厚度500 um)
[抗熱阻] 10 m至3 kΩ/ sq
(*所有探頭類型的總范圍)
*有關(guān)每種探頭類型的測(cè)量范圍,請(qǐng)參閱以下內(nèi)容。
(1)低:0.01至0.5Ω/□(0.001至
0.05Ω- cm)(2)中:0.5至10Ω/□(0.05至0.5Ω-cm)
(3 ))高:10至1000Ω/□( 0.5至60Ω-??cm)
(4)S高:1000至3000Ω/□(60至200Ω-cm)
(5)太陽(yáng)能晶片:5至500Ω/□(0. 2至15Ω-cm)
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